Analisador de Plasma EMICON

O analisador de plasma por espectroscopia de emissão ótica permite o monitoramento em tempo real a fim de trazer melhorias significativas na estabilidade, repetibilidade, confiabilidade e rendimento do processo.

O sistema de monitoramento de plasma EMICON apresenta até oito unidades de espectrômetros para aquisição de dados em diferentes locais de máquinas, entrada de até oito sinais de tensão externos, operação independentes por meio de unidade de processador integrada, painel touch integrado para informações e configuração no local e comunicação por interfaces padrão industriais (como LAN, Profibus, IOS). Uma ampla gama de acessórios está disponível, incluindo sensores projetados especificamente para aplicações de pulverização HIPMS.

Características principais

  • Aquisição de espectro de banda larga: Os espectrômetros de fibra ótica do sistema adquirem continuamente espectros completos da emissão de luz de plasma de 200 até 1100 nm. A série EMICON MC apresenta até 8 canais de espectrômetro independentes necessários, para controle de processo de câmaras múltiplas ou controle de fluxo espacial de gás resolvido em aplicações de pulverização catódica
  • Monitoramento em tempo real das emissões de plasma: As emissões de luz das partículas de plasma relevantes ao processo são observadas simultaneamente e rastreadas em tempo real. Isso permite um monitoramento contínuo das condições do plasma e as mudanças são realizadas instantaneamente
  • Análise de processo: Uma análise completa do processo de plasma é realizada a partir da análise de espectros gravados e dados de processo
  • Otimização do processo: O monitoramento em tempo real permite otimizar o processo de plasma, aproveitando a resposta instantânea do sistema nas alterações de parâmetros
  • Controle de processo: Saídas e entradas analógicas e digitais estão disponíveis para instalar funções de controle de loop aberto e fechado. Esse recurso é usado para detecção de ponto final ou para monitorar desvios das condições padrão do processo de plasma. A função de controle PID integrada ainda fornece acesso direto a aplicações em que o controle de malha fechada é necessário, como controle de fluxo de gás ou controle de energia em aplicações de pulverização reativa

Tipos de Sistema

Sistema padrão multicanal para monitoramento de plasma e controle de processo EMICON MC

  • Aquisição de dados com espectrômetro de banda larga
  • Monitoramento em tempo real da radiação de plasma
  • Análise de processos e monitoramento de processos
  • Reprodução de dados salvos para análise de processo off-line
  • Controle de processo com função de set-point e controle PID
  • Sistemas de espectrômetro multicanal para medições espacialmente resolvidas
  • Entradas e saídas digitais e analógicas para integração de sistemas
  • Interface PROFIBUS e LAN para integração no controle do sistema
  • Software Windows amigável

Sistema autônomo com unidade de processo integrada EMICON SA

  • Operação independente (24/7)
  • Funções de ponto de ajuste e funções de malha fechada PID para controle de processo
  • Sistemas multicanais para aquisição de dados espacialmente resolvidos
  • Entradas de tensão para sinais de sensores externos
  • Entradas e saídas digitais e analógicas para integração de sistemas
  • Interface PROFIBUS e LAN para integração de sistemas
  • Configuração via LAN com software baseado em Windows

Sistema espectral de alta resolução para análise detalhada de plasma e monitoramento de plasma EMICON HR

  • Aquisição de dados com espectrômetro de banda larga
  • Monitoramento em tempo real da radiação de plasma
  • Análise de processos e monitoramento de processos
  • Reprodução de dados salvos para análise de processo off-line
  • Controle de processo com função de ponto de ajuste
  • Entradas e saídas digitais e analógicas para integração de sistemas
  • Interface PROFIBUS e LAN para integração no controle do sistema
  • Software Windows amigável

Software para análise de dados espectrais SPECLINE

  • o A análise espectral e a identificação de linha de dados registrados é frequentemente muito complexa e demorada. O software SpecLine elimina esse problema, fornecendo um banco de dados extenso e atualizado para átomos, moléculas e seus íons dentro de um ambiente gráfico: Você pode identificar as linhas espectrais e bandas moleculares com alguns cliques do mouse. Além disso, várias funções de avaliação te ajudam a analisar e comparar seus espectros. Como todos os formatos de arquivos espectroscópicos comuns são suportados, o manuseio de dados é fácil e livre de problemas

Ficha técnica

Sistema padrão multicanal para monitoramento de plasma e controle de processo EMICON MC

  • Número de canais do espectrômetro até 08
  • Faixa de comprimento de onda 200 – 1100 nm
  • Resolução espectral 1,5nm
  • Entrada/saída digital 4/4
  • Entrada/saída analógicas 08
  • Conectividade USB 2.0

Sistema autônomo com unidade de processo integrada EMICON SA

  • Número de canais do espectrômetro até 08
  • Faixa de comprimento de onda 200 – 1100 nm
  • Resolução espectral 1,5nm
  • Número de sensor de tensão: 2-8
  • Resolução de sinal: 16 bit
  • Entrada/saída digital 8/8
  • Entrada/ saída analógicas 4-8
  • Conectividade LAN/Profibus

Sistema espectral de alta resolução para análise detalhada de plasma e monitoramento de plasma EMICON HR

  • Número de canais do espectrômetro até 01
  • Faixa de comprimento de onda 200 – 860 nm
  • Resolução espectral 0.15nm
  • Resolução de sinal: 16 bit
  • Entrada/saída digital 2/2
  • Entrada/saída analógicas 04
  • Conectividade USB 2.0

Software para análise de dados espectrais SPECLINE

  • Identificação de linha: Identificação de átomos, moléculas e seus íons usando o banco de dados incluído
  • Achado de pico automático: Algoritmos de busca para encontrar picos nos espectros
  • Comparação de dados: Vários espectros, podem ser sobrepostos e comparados, mesmo com diferentes formatos de arquivo
  • Avaliação de dados: Suavização de dados, integral, escala, valor de pico, calibração, aritmética de espectros (+, -, *, /)
  • Seleção para pesquisa de banco de dados: Tabela periódica para átomos, caixa de listagem de moléculas, neutros, íons, comprimento de onda e faixa de intensidade
  • Versões do banco de dados – A: Átomos e íons; AM: átomos, íons e a maioria das moléculas atômicas; AMS: Todos os átomos, íons e íons de moléculas disponíveis
  • Formato de arquivo SpecLine: Formato de arquivo contendo espectro, bem como dados de identificação de linha
  • Informação da base de dados: Comprimento de onda, força do oscilador, designação, probabilidades de transição, energias e número quântico de nível superior e inferior
  • Importação de dados
  • Formatos de dados suportados: ASCII, Binário, GRAMS, Ocean Optics, 4SPEC, MAPS, DaVis, WinSpec, AvaSoft, Hamamatsu e outros
  • Exportação de dados: Exportação de dados para formato ASCII, Binário e Excel (CSV), exportação gráfica para formato BMP, WMF e WPG

Downloads